renishaw激光干涉儀線性角度直線回轉軸鏡組

英國(guo) renishaw 雷(lei)尼紹 XL80 激光干涉儀 鐳射(she) 數控(kong)機床加工中(zhong)心精度檢測校準

 激光干(gan)涉儀是以光波(bo)為載體(ti)，以光波(bo)波(bo)長為單位(wei)的一種計量測試方法(fa)，是*的高精度、高靈敏度的檢測手(shou)段，在制(zhi)造(zao)領域應用(yong)廣泛。

工(gong)作(zuo)原理：

 激光(guang)(guang)(guang)器發射(she)單(dan)一(yi)頻率(lv)光(guang)(guang)(guang)束射(she)入線性(xing)干涉鏡(jing)，然后分成兩(liang)道光(guang)(guang)(guang)束，一(yi)道光(guang)(guang)(guang)束（參考光(guang)(guang)(guang)束）射(she)向(xiang)連(lian)接分光(guang)(guang)(guang)鏡(jing)的反射(she)鏡(jing)，而第二(er)道透射(she)光(guang)(guang)(guang)束（測量(liang)光(guang)(guang)(guang)束）則通(tong)過(guo)分光(guang)(guang)(guang)鏡(jing)射(she)入第二(er)個(ge)反射(she)鏡(jing)，這兩(liang)道光(guang)(guang)(guang)束再(zai)反射(she)回到分光(guang)(guang)(guang)鏡(jing)，重(zhong)新匯(hui)聚之(zhi)后返回激光(guang)(guang)(guang)器，其中會有(you)一(yi)個(ge)探(tan)測器監控兩(liang)道光(guang)(guang)(guang)束之(zhi)間的干。若光(guang)(guang)(guang)程差(cha)沒(mei)有(you)變化時，探(tan)測器會在(zai)相(xiang)長性(xing)和(he)相(xiang)消性(xing)干涉的兩(liang)極之(zhi)間找(zhao)到穩定的信號(hao)。

 若光程(cheng)差有變化(hua)時(shi)，探測器會(hui)在每(mei)一(yi)次(ci)光程(cheng)變化(hua)時(shi)，在相(xiang)長性和(he)相(xiang)消性干涉的(de)兩極之(zhi)間找到變化(hua)信號，這些(xie)變化(hua)會(hui)被計(ji)算(suan)并用來(lai)測量兩個光程(cheng)之(zhi)間的(de)差異(yi)變化(hua)。

特點：

1、激光穩頻精度 通過動(dong)態熱控制技術將激光管(guan)長度變化控制在幾納(na)米范圍(wei)內，達到1年內精度為(wei)(wei)±0.05 ppm，1小時內精度為(wei)(wei)±0.02 ppm。

2、線(xian)性(xing)測量精(jing)度(du)，精(jing)度(du)為(wei)±0.5 ppm。可(ke)(ke)以高達50 kHZ頻(pin)率讀取數(shu)據，線(xian)性(xing)測量速度(du)可(ke)(ke)達4 m/s，即使在(zai)速度(du)下線(xian)性(xing)分辨(bian)率仍可(ke)(ke)達1 nm。

3、儀器(qi)內置的(de)USB意味(wei)著激(ji)光系(xi)統與計算機之間(jian)無需單獨的(de)接(jie)口。

4、激光(guang)頭(tou)前(qian)部的(de)一排LED狀(zhuang)(zhuang)態(tai)指示燈(deng)顯示激光(guang)狀(zhuang)(zhuang)態(tai)和(he)信號強度，相當于(yu)將屏幕軟件上(shang)的(de)“狀(zhuang)(zhuang)態(tai)顯示”擴展(zhan)到激光(guang)頭(tou)上(shang)。

5、可以在標準 (40 m) 和(he)長(chang) (80 m) 距(ju)離模式之間切換

6、模擬I/O端(duan)口(kou)允許模擬信號輸(shu)出和觸(chu)發(fa)信號輸(shu)入。

 使(shi)用注(zhu)意事(shi)項：

1、儀器應(ying)放置在干燥(zao)、清(qing)潔以(yi)及無振動的環境中應(ying)用。

2、在(zai)移(yi)動(dong)儀器時(shi)，為防止導軌(gui)變形(xing)，應(ying)托住底座再進(jin)行移(yi)動(dong)。

3、儀器(qi)的光學零(ling)件(jian)在不用時，應在清潔干燥的器(qi)皿中進(jin)行存(cun)放，以防止發(fa)霉。

4、盡量不要去擦(ca)拭儀器的反光鏡(jing)、分光鏡(jing)等，如(ru)必須(xu)擦(ca)拭則應當小(xiao)心(xin)擦(ca)拭，利用(yong)科學的方法進行(xing)清潔(jie)。

5、導軌(gui)、絲(si)桿、螺(luo)母(mu)與軸(zhou)孔部(bu)分等傳動部(bu)件，應當保持(chi)良好的潤滑。因(yin)此必(bi)要時要使用(yong)精(jing)密儀表油潤滑。

6、在(zai)使用時應避免強旋、硬扳等情(qing)況(kuang)，合理恰當(dang)的調整部件(jian)。

7、避免劃傷(shang)或腐蝕導軌面(mian)絲桿，保持其不失油。

 renishaw激光干涉儀線性角度直線回轉軸鏡組