使用renishaw激光干涉儀時應該注意的幾個要點
點擊次數:1616 更新時間:2021-03-16
renishaw激光干涉儀是利用激光作為長度基準,對數控設備的位置精度、幾何精度進行精密測量的高精度測量儀器。儀器測量的是距離、以及衍生出來的平行度、垂直度、直線度、圓度,測量的精度可高達0.2微米/米,但同時對環境也較為挑剔。
激光精度受環境影響較大,*的測量精度必須依靠較為穩定車間環境,所以激光干涉儀要得出真實的測量數據必須和機床充分預熱,車間環境也參考儀器使用的環境。
激光干涉儀初步調整后,固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶,通過“整體”調整瞄準光靶后,取下分光鏡光靶,將Z軸升高,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度,同時透過“尾部”調整使激光對準反光鏡光靶,若在此過程中因“尾部”的調整導致分光鏡遮擋了部分激光,則將Z軸停止上升回到起始處,重新調整“整體”,再次對準反射鏡光靶。緊接著再升Z軸,繼續調整“尾部”,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度。重復整個過程,往往幾次即可達到準直要求。
renishaw激光干涉儀的使用注意事項
1、儀器必須定人保管,技術組人員專人送檢,他人不得隨意動用,以防損壞,降低精度。
2、要設置專庫存放,環境要求干燥、通風、防震、防霧、防塵、防銹。儀器應保持干燥。各種儀器均不可受壓、受凍、受潮或受高溫,儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。
3、對儀器要小心輕放,避免強烈的沖擊震動,安置儀器前應檢查三腳架的牢固性,整個作業過程中工作人員不得離開儀器,防止意外發生。
4、renishaw激光干涉儀應避免在溫度變化大、有風、潮濕環境下測量,此時檢測結果將收到很大的影響。